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CVD管式炉
CVD梯度管式炉_1200℃ CVD梯度管式炉
CVD梯度管式炉_1200℃ CVD梯度管式炉

CVD梯度管式炉_1200℃ CVD梯度管式炉

时间:2021-09-28 09:13:22 查看:0

1200℃ CVD梯度管式炉是指化学气体或蒸汽在基底表面反应以合成涂层或纳米材料的方法。它是半导体工业中应用最广泛的沉积各种材料的技术,包括各种绝缘材料、大多数金属材料和金属

  【产品名称】1200℃-CVD梯度管式炉

  【炉管尺寸】φ25--φ120mm

  【加热区】300mm+300mm

  【额定温度】1200℃

  【温度控制精度】±1℃

  [应用]化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基底表面反应以合成涂层或纳米材料的方法。它是半导体工业中应用最广泛的沉积各种材料的技术,包括各种绝缘材料、大多数金属材料和金属合金材料。

  1.产品说明

  本系列产品主要用于真空或保护气氛下样品的热处理。优质的炉料和稳定的温度控制系统保证了实验数据的可靠性;本产品采用新型陶瓷纤维材料作为炉体材料,炉管材料优良。管道两端采用不锈钢法兰密封,可在真空下工作。法兰上有进风口和出风口,可通入保护气体,精密针阀可调节进风口流量。

  2.产品特点

  1.炉体材料采用高纯氧化铝陶瓷纤维材料,全新组装结构,高温不变形,坚固耐用

  2.加热元件采用硅钼棒,能承受大负荷,稳定,使用寿命长

  3.炉管采用石英管,两端不锈钢法兰设计简单合理,易于拆卸,便于进出烧结样品。

  4.加热速度非常快,从室温上升到1700摄氏度通常需要100分钟

  5.采用智能PID温度控制器,温度控制精度高,具有低温冲洗、温度补偿和温度校正功能,精度为±1℃

  6.温度控制器具有编程功能,可设置加热曲线,可编程30段

  7.整体结构,外观专利设计,美观大方

  8.电子元件均为知名产品,具有漏电保护功能,安全可靠

  9机器在工作过程中发出超温报警信号,并自动完成保护动作

  10仪器程序设置完成后,只需按下运行按钮,下一步将自动完成

  11个可选大屏幕无纸记录仪,实现加热曲线的实时记录,并配有用于分析和打印实验数据的存储卡

  12个可选气体质量流量计,可精确数字控制气体

标签:CVD梯度管式炉,1200℃ CVD梯度管式炉
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